Kích thước của các hạt cầu silica phụ thuộc rất nhiều vào nồng độ các chất ban đầu như nồng độ TEOS, NH4OH. Kích thước của quả cầu SiO2 tăng theo sự tăng của nồng độ TEOS và giảm khi tăng nồng độ NH4OH. Lượng TEOS tăng từ 0,5 ml đến 1,1 ml, đường kính trung bình của hạt cầu silica tăng từ 180 nm đến 300 nm. Lượng NH4OH tăng từ 0,5 ml đến 2,0 ml thì đường kính trung bình của hạt cầu silica giảm từ 330 nm đến 270 nm.